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光電変換素子を基準位置に位置決めする技術として、特開2006−201306号公報(特許文献1)には、固定支持基板と、該固定支持基板に、互いに直交し、かつ、該固定支持基板と平行な特定のX方向及びY方向に直線移動可能として支持されたXY移動部材と、上記XY移動部材の上記固定支持基板に対するX方向の相対位置を検出するX方向位置検出手段と、を備え、該X方向位置検出手段が、X用光源と、その受光位置をX方向について認識可能なX用受光部材と、該X用受光部材の受光位置に基づいて上記XY移動部材の上記固定支持基板に対するX方向の相対位置を演算する演算手段と、を備えるステージ装置において、上記固定支持基板に、上記X用光源及び上記X用受光部材をX方向に並べて固定し、上記XY移動部材に、該X用光源から出た光を反射して上記X用受光部材に導くX用反射部材を固定したことを特徴とするステージ装置が記載されている。

和运算机构,根据该 X用感光部件的感光位置,运算上述 XY移动部件相对于上述固定支撑基板的 X方向的相对位置; 该台装置的特征是,将上述 X用光源和上述 X用感光部件在 X方向排列,固定在上述固定支撑基板上,将 X用反射部件固定在上述 XY移动部件上,反射该X用光源发出的光并导入上述 X用感光部件。 - 中国語 特許翻訳例文集





   

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