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电子束平版印刷术
日本語訳 電子ビーム描画、電子線リソグラフィー、電子ビーム露光、電子ビームリソグラフィー、エレクトロンビームリソグラフィー、電子ビームリソグラフィ、電子線リトグラフィー
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